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GaAs上外延AlGaAs层的晶格松驰

引用本文：	郝建民.GaAs上外延AlGaAs层的晶格松驰[J].电子材料快报,1996(3):12-13.

作者姓名：	郝建民

摘要：
关键词：	GaAs AlGaAs 外延层晶格松驰薄膜生长
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