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| 谐振式微加速度计杠杆机构的建模与优化 | |
| 引用本文： | 任杰,樊尚春,郭占社.谐振式微加速度计杠杆机构的建模与优化[J].微纳电子技术,2007(8). |
| 作者姓名： | 任杰 樊尚春 郭占社 |
| 作者单位： | 北京航空航天大学,仪器学院,北京,100083 北京航空航天大学,仪器学院,北京,100083 北京航空航天大学,仪器学院,北京,100083 |
| 摘 要： | 谐振式微机械加速度计的微尺寸质量块引起的惯性力很小,严重制约了加速度计灵敏度的提高,因此提出采用杠杆机构放大惯性力.由于硅基微杠杆机构的各部分均为刚性连接,且杠杆的输入、输出端有约束存在,制约了杠杆的自由转动,使惯性力不能高效放大.为此,设计了基于柔性支点的杠杆机构,建立了微杠杆机构的物理和数学模型,推导出杠杆机构各部分刚度的匹配原则.利用ISIGHT软件,采用遗传算法对结构参数进行了优化. |
| 关 键 词： | 微机械加速度计 微杠杆 建模 优化设计 |
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