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一种应用正态分布理论的直线超声电机精密定位控制方法
引用本文:周丽平,孙志峻,张泉,郭语.一种应用正态分布理论的直线超声电机精密定位控制方法[J].中国电机工程学报,2012,32(27):60-65,183.
作者姓名:周丽平  孙志峻  张泉  郭语
作者单位:南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室,江苏省南京市,210016
摘    要:针对直线超声电机在精密驱动过程中存在较强的非线性、时变性及控制模型复杂等问题,提出了一种基于正态分布理论统计直线超声电机驱动电压与速度/位移关系的方法,结合模糊逻辑控制技术,实现了对直线超声电机精密定位控制。利用宏微驱动控制模式对超声电机驱动的平台进行大行程、高精度定位实验研究,实验结果表明采用所提方法,当行程为5 mm时,稳态误差小于5 nm,能抑制系统的超调,改善系统动态性能。同时,由于直线超声电机动态保持力非常大,使得系统具有良好的抗扰动能力。

关 键 词:直线超声电机  定位平台  宏微驱动  大行程  精密定位

A Precision Alignment Control Method of Linear Ultrasonic Motors Using the Normal Distribution Theory
ZHOU Liping , SUN Zhijun , ZHANG Quan , GUO Yu.A Precision Alignment Control Method of Linear Ultrasonic Motors Using the Normal Distribution Theory[J].Proceedings of the CSEE,2012,32(27):60-65,183.
Authors:ZHOU Liping  SUN Zhijun  ZHANG Quan  GUO Yu
Affiliation:(State Key Laboratory of Mechanics and Control of Mechanical Structures(Nanjing University of Aeronautics and Astronautics),Nanjing 210016,Jiangsu Province,China)
Abstract:
Keywords:
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