| SOI基光耦合器研究进展 |
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| 引用本文： | 刘艳,余金中.SOI基光耦合器研究进展[J].激光与红外,2007,37(1):18-21. |
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| 作者姓名： | 刘艳 余金中 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 文章综述了国内外光耦合器的最新研究进展,着重介绍了目前耦合效率最高(55%),且与偏振无关的双光栅辅助定向耦合器的工艺流程、结构性能以及进一步提高耦合效率的可行性.
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| 关 键 词： | 耦合器 双光栅辅助定向耦合器 耦合效率 光耦合器 研究进展 Couplers 耦合效率 结构性能 工艺流程 定向耦合器 双光栅 偏振无关 效率最高 |
| 文章编号： | 1001-5078（2007）01-0018-04 |
| 修稿时间： | 2006-06-232006-07-12 |
The Progress of Silicon-on-insulator Couplers |
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| LIU Yan; YU Jin-zhong.The Progress of Silicon-on-insulator Couplers[J].Laser & Infrared,2007,37(1):18-21. |
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| Authors: | LIU Yan; YU Jin-zhong |
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| Affiliation: | State Key Laboratory on Integerated Optoelectronics; Institute of Semiconductors; Chinese Academy of Sciences; Beijing 100083; China |
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| Abstract: | In this paper the latest progress of optical couplers is reviewed.The emphasis is placed on the fabrication,structures of the most efficient(55%) dual grating-assisted directional coupler and the possibility of further improving the coupling efficiency. |
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| Keywords: | coupler dual grating-assisted directional coupler coupling efficiency |
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