| 基于声表面波微通道内微液滴选择性输运研究 |
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| 引用本文： | 王保成,付相庭,章安良.基于声表面波微通道内微液滴选择性输运研究[J].压电与声光,2016,38(4):639-642. |
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| 作者姓名： | 王保成 付相庭 章安良 |
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| 作者单位： | （1.襄阳职业技术学院 电子信息工程学院，湖北 襄阳441021；2.宁波大学 微纳电子系统研究所，浙江 宁波 315211；3.常州工学院 电气与光电工程学院，江苏 常州 213022） |
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| 基金项目： | 常州工学院科研基金资助项目(YN1404);常州工学院大学生创新基金资助项目(J140029);浙江省重点学科基金资助项目(Xkl11077) |
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| 摘 要： | 提出了声表面波实现微通道内微液滴选择性输运的方法,并研制了相应的微器件。它包括128°YXLiNbO3基片上光刻有两叉指换能器的压电子器件、微隔板和聚二甲基硅氧烷微通道。通过软光刻工艺制作聚二甲基硅氧烷微通道,采用内嵌塑料薄片微隔板,将微通道分割为两分支微通道,并贴合于压电基片上。叉指换能器激发的声表面波结合进样器进样的石蜡油驱使待输运微液滴向目标分支微通道运动,实现微通道内微液滴选择性地输运到目标分支微通道。以水液滴为研究对象,进行了微液滴选择性输运实验,结果表明,声表面波可以实现微通道内微液滴选择性输运到目标分支微通道,从而为压电微流器件进行微流分析提供前提条件。
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| 关 键 词： | 压电基片 选择性输运 声表面波 微液滴 微通道 |
Selective Transportation of a Droplet in Microchannels Based on Surface Acoustic Wave |
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| WANG Baocheng,FU Xiangting and ZHANG Anliang.Selective Transportation of a Droplet in Microchannels Based on Surface Acoustic Wave[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2016,38(4):639-642. |
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| Authors: | WANG Baocheng FU Xiangting and ZHANG Anliang |
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| Affiliation: | (1.School of Electronic Information and Engineering, Xiangyang Vocational and Technical College, Xiangyang 441021,China;,2.Lab. of Micro and Nano Electronic System, Ningbo University,Ningbo 315211,China; and 3.School of Electrical and Photoelectronic Engineering, Changzhou Institute of Technology,Changzhou 213022,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric substrate selective transportation surface acoustic wave droplet microchannel |
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