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| φ200mm太阳能电池用直拉硅单晶生长中导流系统的研究 | |
| 引用本文： | 任丙彦,褚世君,吴鑫,于建秀,孙秀菊.φ200mm太阳能电池用直拉硅单晶生长中导流系统的研究[J].半导体学报,2008,29(9). |
| 作者姓名： | 任丙彦 褚世君 吴鑫 于建秀 孙秀菊 |
| 作者单位： | 河北工业大学材料学院,天津,300130 |
| 摘 要： | 利用数值模拟,对CZ硅单晶生长系统中导流系统调整和改进.得到不同导流系统下的氩气流场和伞局温场.研究发现在导流系统中引入导流筒及冷却功能后,氩气流场得到明显的改善,晶体中纵向温度梯度均匀性改善,同液界面趋于平坦,有利于结晶潜热的散发和单晶径向电阻率的均匀性.研究表明改进导流系统能提高结品潜热散发速率,有利于提高晶体拉速. |
| 关 键 词： | 数值模拟 直拉硅单晶 结晶潜热 导流筒 |
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