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激光法制备二氧化钒军事防护薄膜研究
引用本文:王淑云,刘旭,郭延龙,陆益敏,黄国俊,程勇.激光法制备二氧化钒军事防护薄膜研究[J].应用激光,2012,32(1):74-77.
作者姓名:王淑云  刘旭  郭延龙  陆益敏  黄国俊  程勇
作者单位:王淑云:武汉军械士官学校光电技术研究所, 湖北 武汉 430075
刘旭:武汉军械士官学校光电技术研究所, 湖北 武汉 430075
郭延龙:武汉军械士官学校光电技术研究所, 湖北 武汉 430075
陆益敏:武汉军械士官学校光电技术研究所, 湖北 武汉 430075
黄国俊:武汉军械士官学校光电技术研究所, 湖北 武汉 430075
程勇:武汉军械士官学校光电技术研究所, 湖北 武汉 430075
摘    要:二氧化钒(VO2)具有热致半导体—金属相变特性, 其相变温度为 68益, 最接近室温, 可作为理想的光学功能材料, 在军事上有广泛应用前景。脉冲激光沉积法作为一种新型的制膜方法, 相比其他方法具有粒子能量高、可控性强等优点。介绍了 VO2薄膜的光电特性及其在军事上尤其是激光防护领域的应用前景, 并重点探讨了激光法制备 VO2薄膜的相关问题及解决措施。

关 键 词:二氧化钒  激光沉积  激光防护  相变温度  高纯度
收稿时间:2011/11/14

Research of Military Defence VO2 Thin Films by Pulsed Laser Deposition
Wang Shuyun,Liu Xu,Guo Yanlong,Lu Yimin,Huang Cuojun,Cheng Yong.Research of Military Defence VO2 Thin Films by Pulsed Laser Deposition[J].Applied Laser,2012,32(1):74-77.
Authors:Wang Shuyun  Liu Xu  Guo Yanlong  Lu Yimin  Huang Cuojun  Cheng Yong
Affiliation:(Institute of Optoelectronics Technology,Wuhan Ordnance Non-commissioned Officers Academy,Wuhan,Hubei 430075,China)
Abstract:Vanadium dioxide (VO2) is a thermochromic material that undergoes a semiconductor-to metal phase transition around 68 ℃. Because the phase transition temperature is near to room temperature, VO2 thin film can be used in military field widely as perfectoptical materials. Method of pulsed laser deposition is also introduced, which has many merits to deposite films compared to othermethods. It is easy to produce high energy particles and be controled. Optical and electrical properties of VO2 thin film, also its appliction in military laser defence are recommended. Problems and solutions of VO2 thin films by pulsed laser deposition are discussed.
Keywords:VO2  laser deposition  laser protection  temperature of phase transition  high purity
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