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| 二维电容式硅微加速度传感器的刚度求解 | |
| 引用本文： | 刘妤,温志渝,张流强,梁玉前,温中泉,李霞.二维电容式硅微加速度传感器的刚度求解[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 刘妤 温志渝 张流强 梁玉前 温中泉 李霞 |
| 摘 要： | 硅微电容式加速度传感器具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点,在军民两用市场中有着广泛的应用前景.本文针对自主开发设计的一种带折叠梁的二维叉指电容式硅微加速度传感器,采用力法求解了其主轴刚度,为进一步研究该二维微加速度传感器的动态响应特性提供了理论依据. |
| 关 键 词： | 硅微加速度传感器 折叠梁 力法 主轴刚度 |
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