| 平面磁控溅射靶磁场的计算 |
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| 引用本文： | 赵华玉,牟宗信,贾莉,张鹏云,郝胜智.平面磁控溅射靶磁场的计算[J].真空科学与技术学报,2008,28(3):271-274. |
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| 作者姓名： | 赵华玉 牟宗信 贾莉 张鹏云 郝胜智 |
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| 作者单位： | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室和物理与光电学院,大连,116024 |
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| 摘 要： | 精确分析磁控靶的磁场对优化磁控靶的设计非常重要。本文采用有限元法分析了圆形平面磁控靶的二维磁场分布，理论计算的结果与特斯拉计的实验测量相符，通过对比两种不同磁极尺寸的磁控靶的磁场，发现减少磁极的尺寸可以扩展靶表面径向磁场区域，磁芯上方加圆锥形极靴可以增强磁芯上方径向磁场。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 磁场 有限元法 平面 磁控溅射靶 径向磁场 理论计算 Magnetron Planar Magnetic Field Distribution 增强 极靴 圆锥形 磁芯 磁场区域 表面 扩展 发现 尺寸 实验测量 特斯拉计 结果 分布 |
| 文章编号： | 1672-7126(2008)03-271-04 |
| 修稿时间： | 2007年3月14日 |
Calculation of 2-D Magnetic Field Distribution of Planar Magnetron Targets |
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| Zhao Huayu,Mu Zongxin,Jia Li,Zhang Pengyun,Hao Shengzhi.Calculation of 2-D Magnetic Field Distribution of Planar Magnetron Targets[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2008,28(3):271-274. |
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| Authors: | Zhao Huayu Mu Zongxin Jia Li Zhang Pengyun Hao Shengzhi |
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