纳米时栅位移传感器误差模型建立与分析 |
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引用本文: | 张瀚潇,郑方燕,吴玉梅,樊星辰.纳米时栅位移传感器误差模型建立与分析[J].仪表技术与传感器,2018(4). |
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作者姓名: | 张瀚潇 郑方燕 吴玉梅 樊星辰 |
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作者单位: | 重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心 |
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摘 要: | 纳米时栅是利用交变电场进行精密位移测量的新型传感器。由于传感器的安装偏差、结构实现、基体加工和工作环境变化等均会导致测量误差。为研究误差的产生原因及对测量精度的影响规律,在纳米时栅传感器的测量模型基础上,建立了由于驻波参数变化产生的测量误差模型,具体分析了驻波信号参数变化中幅值不相等、相位不正交、含有高频干扰这3种情况的误差变化情况,经实验验证了理论的正确性,明确了测量误差产生的原因,为纳米时栅的结构最优化设计提供了理论依据。
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