| NiZn铁氧体对叠层型薄膜变压器传输特性的改善 |
| |
| 引用本文： | 郑梁,秦会斌,胡冀,徐军明,宋开新.NiZn铁氧体对叠层型薄膜变压器传输特性的改善[J].微波学报,2010,26(1). |
| |
| 作者姓名： | 郑梁 秦会斌 胡冀 徐军明 宋开新 |
| |
| 作者单位： | 杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所,杭州,310018 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(60601022,60671024); 浙江省自然科学基金(Y107255) |
| |
| 摘 要： | 展示了一种新型的基于硅IC工艺的叠层型螺旋薄膜变压器,通过分析铁氧体的特性和磁谱,设计了薄膜变压器结构和制造工艺。采用光刻技术制备形状相同且完全叠合的初级与次级线圈,提高线圈耦合效率。空心变压器两层线圈之间采用SiO2作为绝缘层;磁芯变压器的两层线圈之间采用射频磁控溅射NiZn铁氧体薄膜作为绝缘层。在10MHz～20GHz的频率范围内分别对空心和磁芯叠层型螺旋薄膜变压器进行了测试,测试结果表明:磁芯薄膜变压器的带宽和传输效率都大于空心薄膜变压器;铁氧体薄膜能大幅度提高薄膜变压器的传输效率;匝数比为10∶10的磁芯薄膜变压器传输效率在频率9.85GHz时达到78.0%的最大传输效率。
|
| 关 键 词： | 薄膜变压器 传输特性 铁氧体薄膜 |
Improvement of NiZn Ferrite Thin Film on Transmission Property of Stacked Thin-film Transformers |
| |
| ZHENG Liang,QIN Hui-bin,HU Ji,XU Jun-ming,SONG Kai-xin.Improvement of NiZn Ferrite Thin Film on Transmission Property of Stacked Thin-film Transformers[J].Journal of Microwaves,2010,26(1). |
| |
| Authors: | ZHENG Liang QIN Hui-bin HU Ji XU Jun-ming SONG Kai-xin |
| |
| Affiliation: | ZHENG Liang,QIN Hui-bin,HU Ji,XU Jun-ming,SONG Kai-xin(Institute of Electron Device & Application,Hangzhou Dianzi University,Hangzhou 310018,China) |
| |
| Abstract: | The stacked spiral thin-film transformer is designed and fabricated in this paper,.The mechanism of ferrite thin film is discussed.Primary spiral and secondary spiral are on the different layer and have the same shape.Air core transformer and magnetic core transformer are made with SiO_2 or ferrite thin film between two spirals respectively.S-parameters are measured at 10MHz-20GHz.The result shows that the transmission efficiency and bandwidth of magnetic core thin-film transformer is better than those of a... |
| |
| Keywords: | Thin-film transformer Transmission property Ferrite film |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《微波学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《微波学报》下载全文 |
|
