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溶胶-凝胶法制备Al_2O_3感湿薄膜
引用本文:陈广文,桂太龙,殷景华,宋威.溶胶-凝胶法制备Al_2O_3感湿薄膜[J].哈尔滨理工大学学报,1994(3).
作者姓名:陈广文  桂太龙  殷景华  宋威
作者单位:哈尔滨科学技术大学
摘    要:采用溶胶-凝胶法制备Al_2O_3感湿薄膜,并通过大量实验,研究了溶胶的配制、涂覆层数及热处理工艺,对其感湿特性也进行了测试.

关 键 词:溶胶-凝胶,氧化铝,感湿薄膜
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