国外最新离子注入技术文献索引 |
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引用本文: | 吴健昌.国外最新离子注入技术文献索引[J].微细加工技术,1991(4). |
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作者姓名: | 吴健昌 |
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摘 要: | 本索引分为两部分。第一部分是选自1990年9月在英国召开的第八届国际离子技术会议中有关离子注入机的文章共63篇。这些论文都已刊登在英文杂志Nuclear Instruments & Methods in Phyics Research(B)以下简称N.I.M.(B).]1991年B55卷1—4期合刊上。为简单起见,本索引前63条只刊登作者、论文题目和起止页数,不再重复上述刊名。第二部分是选自近一年来分散发表在国外各种刊物上有关离子注入机的文章共16篇,即本索引后16条。
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