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| 一种L、S波段微机械压控振荡器 | |
| 引用本文： | 李丽,赵正平,张志国,郭文胜,吕苗,杨瑞霞.一种L、S波段微机械压控振荡器[J].固体电子学研究与进展,2007,27(2):217-220,225. |
| 作者姓名： | 李丽 赵正平 张志国 郭文胜 吕苗 杨瑞霞 |
| 作者单位： | 1. 河北工业大学信息工程学院,天津,300130;河北半导体研究所,石家庄,050051 2. 河北半导体研究所,石家庄,050051;河北工业大学信息工程学院,天津,300130 3. 河北半导体研究所,石家庄,050051 4. 河北工业大学信息工程学院,天津,300130 |
| 基金项目： | 微米/纳米加工技术国家级科技重点实验室基金 |
| 摘 要： | 报道了一种中心频率为2GHz的电感电容(LC)压控振荡器,其谐振回路由微机械可变电容和键合线电感构成。微机械可变电容采用与集成电路兼容的表面微机械工艺制造,在2GHz时其Q值约为32.6,当调节电压从0V增大到12V时,电容量变化范围为25%。通过键合技术将微机械可变电容与有源电路集成在一起,制备了MEMSVCO器件,测试结果表明,载波频率为2.004GHz时,VCO的单边带相位噪声为-103.5dBc/Hz@100kHz,输出功率为12.51dBm。调频范围约为4.8%。 |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 可变电容 压控振荡器 |
| 文章编号： | 1000-3819(2007)02-217-04 |
| 修稿时间： | 2005年8月8日 |
A MEMS Voltage Controlled Oscillator for L,S Band Application |
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| LI Li,ZHAO Zhengping,ZHANG Zhiguo,GUO Wensheng,L Miao,YANG Ruixi.A MEMS Voltage Controlled Oscillator for L,S Band Application[J].Research & Progress of Solid State Electronics,2007,27(2):217-220,225. | |
| Authors: | LI Li ZHAO Zhengping ZHANG Zhiguo GUO Wensheng L Miao YANG Ruixi |
| Affiliation: | LI Li,ZHAO Zhengping,ZHANG Zhiguo,GUO Wensheng,L(U) Miao,YANG Ruixi |
| Abstract: | A 2 GHz LC voltage controlled oscillator(VCO) based on micromachined variable capacitor and bonding wire inductors is demonstrated in this paper.The MEMS-based variable capacitors are fabricated in a IC-compatible,surface micromaching process.The variable capacitors have a maximal Q factor of 32.6 at 2 GHz with a 25% tuning range when the tuning voltageis swept from 0 to 12 V.After the micromachined variable capacitor is bonded together with the active circuit,the MEMS VCO devices are obtained.The prototype VCO exhibits-103.5 dBc/Hz phase noise at 100 kHz offset frequency form the 2.004 GHz carrier frequency,which is suitable for wireless communication applications.The output power of the MEMS VCO is 12.51 dBm and the frequency tuning range is 4.8%. |
| Keywords: | MEMS variable capacitor voltage controlled oscillator(VCO) |
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