| 用反应离子刻蚀制备的纯位相片将高斯型激光束变换为均匀束 |
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| 引用本文： | 张静娟,羊国光,许超,廉德亮,陈俊本,霍裕平,高士平,陈宝钦.用反应离子刻蚀制备的纯位相片将高斯型激光束变换为均匀束[J].物理学报,1992,41(12):1961-1967. |
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| 作者姓名： | 张静娟 羊国光 许超 廉德亮 陈俊本 霍裕平 高士平 陈宝钦 |
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| 作者单位： | (1)中国科学院等离子体研究所,合肥230031; (2)中国科学院微电子研究中心,北京100010; (3)中国科学院研究生院,北京100039 |
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| 摘 要： | 用光学变换一般理论设计出仅用两个纯位相片构成的光学系统可以将高斯型激光束变换为均匀束。本文对两个纯位相片的位相分布函数进行了计算并设计出10台阶量化的纯位相片。制备纯位相片的方法是采用超大规模集成电路中微细加工技术。实验结果表明能量转换效率高于95％,输出波形与理论计算一致。
关键词：
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| 关 键 词： | 激光基础 光学变换 纯位相片 |
| 收稿时间： | 1991-12-27 |
GAUSSIAN-TO-UNIFORM BEAM CONVERSION WITH PHASE-ONLY MASKS MADE BY REACTIVE ION-ETCHING |
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| ZHANG JING-JUAN,YANG GUO-GUANG,XU CHAO,LIAN DE-LIANG,CHEN JUN-BEN,HUO YU PING,GAO SHI-PING and CHEN BAO-QIN.GAUSSIAN-TO-UNIFORM BEAM CONVERSION WITH PHASE-ONLY MASKS MADE BY REACTIVE ION-ETCHING[J].Acta Physica Sinica,1992,41(12):1961-1967. |
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| Authors: | ZHANG JING-JUAN YANG GUO-GUANG XU CHAO LIAN DE-LIANG CHEN JUN-BEN HUO YU PING GAO SHI-PING and CHEN BAO-QIN |
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| Abstract: | The general optical transformation theory is used for the design for converting Gaussian laser beam into a uniform profile. The transformation system can be achieved with two phase-only masks system. The phase-only mask may be fabricated with reactive ion-etching on a quartz plate. Experimenra) results indicate that the output beam profile is consistent with the theoretical calculation. The conversion efficiency is higher than 95%. |
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| Keywords: | |
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