Si3N4微尺度薄膜的热物性 |
| |
引用本文: | 宋青林,夏善红,陈绍凤,张建刚.Si3N4微尺度薄膜的热物性[J].半导体学报,2003,24(Z1). |
| |
作者姓名: | 宋青林 夏善红 陈绍凤 张建刚 |
| |
作者单位: | 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
| |
基金项目: | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
| |
摘 要: | Si3N4薄膜被广泛应用于微机械和微电子器件中,其热物性在某些器件中显得很重要.为了研究Si3N4薄膜的热容、辐射、对流等热物性,文中设计出一种悬膜结构,并从理论上分析了此结构的传热机理.实验中利用微机械加工技术制作出不同尺寸和厚度的Si3N4微尺度悬膜,并通过测试得到了Si3N4薄膜的热学参数.
|
关 键 词: | 热物性 热容 悬膜 |
Thermal Characteristics of Silicon Nitride Thin Membrane |
| |
Abstract: | |
| |
Keywords: | |
本文献已被 万方数据 等数据库收录! |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体学报》下载全文 |
|