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| 金刚石膜中氮杂质状态的研究 | |
| 引用本文： | 金曾孙,吕宪义,杨广亮,吴汉华,李哲奎,刘建设.金刚石膜中氮杂质状态的研究[J].功能材料,2004,35(Z1):3314-3316. |
| 作者姓名： | 金曾孙 吕宪义 杨广亮 吴汉华 李哲奎 刘建设 |
| 作者单位： | 1. 吉林大学,超硬材料国家重点实验室,吉林,长春,130012 2. 延边大学,物理系,吉林,延吉,133000 3. 河南黄河旋风有限责任公司,河南,长葛,461500 |
| 基金项目： | 国家"863"计划资助项目 |
| 摘 要： | 用EA-CVD(Electron assisted Chemical Vapor Deposition)方法制备出金刚石膜,并且用拉曼光谱、荧光谱、红外吸收谱和顺磁共振谱研究了金刚石膜中的氮杂质.实验结果表明,用EA-CVD方法制备的金刚石膜中氮杂质主要是以Ns0、Ns+、N-V]0和N-V]-1的形式存在,没有检测到在天然金刚石和高温高压金刚石中常见的A和B中心形式存在的氮杂质.沉积实验中随着氢气流量的增加,也就是金刚石膜沉积环境中氮浓度的减少,金刚石膜中氮杂质含量减少. |
| 关 键 词： | EA-CVD方法 金刚石膜 氮杂质 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)增刊-3314-03 |
| 修稿时间： | 2004年4月24日 |
The study for nitrogen impurity states in diamond films grown by EA-CVD method |
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| JIN Zeng-sun,LU Xian-yi,YANG Guang-liang,WU Han-hua,LI Zhe-kui,LIU Jian-she.The study for nitrogen impurity states in diamond films grown by EA-CVD method[J].Journal of Functional Materials,2004,35(Z1):3314-3316. | |
| Authors: | JIN Zeng-sun LU Xian-yi YANG Guang-liang WU Han-hua LI Zhe-kui LIU Jian-she |
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