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| 基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究 | |
| 引用本文： | 刘元浩,赵立波,赵玉龙,蒋庄德,田边,孟超.基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究[J].传感器世界,2008,14(12). |
| 作者姓名： | 刘元浩 赵立波 赵玉龙 蒋庄德 田边 孟超 |
| 作者单位： | 西安交通大学机械工程学院,710049;西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，教育部新世纪优秀人才支持计划 |
| 摘 要： | 针对隔离型压力传感器封装的特点，介绍了波纹膜片的设计过程并利用有限元分析方法对影响波纹膜片性能的主要因素-膜片厚度和波纹深度进行了分析研究，对波纹膜片的结构进行优化，改善了封装有波纹膜片的压力传感器的线性度和灵敏度。 |
| 关 键 词： | 波纹膜片 有限元分析 设计 优化 |
Research on corrugated diaphragms based on packing structure of pressure sensor |
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| Keywords: | |
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