微米-亚微米级扫描电镜图像放大倍率校准标样的研制报告

周期性线距结构或光栅是对如光学显微镜、电子显微镜或扫描探针显微镜等图像系统进行放大倍率校准和空间变形评定的最好样品。由于图像系统的放大倍率的变化不一定是线性的，不同放大倍率级别需要使用不同长度级别的标准样品进行校准，因此，我们设计了适用于从低倍到高倍的各级校验用的标准参考样品，包括以下三个类型：（1）12．5μm、25μm和百微米尺度的三种栅网图形标准样品；（2）微米-亚微米级图形标准样品；（3）100nm或更小尺度的一维或二维光栅标准样品。本文将介绍第二种类型即微米-亚微米级系列中最小线距为1μm的图像放大倍率校准标样S1000的研制情况。