| 薄膜型钯-铬合金氢气传感器技术研究 |
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| 引用本文： | 肖友文,景涛,谢贵久,张建国,王玉明,章良.薄膜型钯-铬合金氢气传感器技术研究[J].仪表技术与传感器,2012(11). |
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| 作者姓名： | 肖友文 景涛 谢贵久 张建国 王玉明 章良 |
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| 作者单位： | 1. 中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙,410111
2. 空军驻湖南军代室,湖南长沙,410100 |
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| 摘 要： | 文中介绍了采用Pd-Cr合金作为氢敏材料,利用MEMS加工技术制备薄膜型氢气传感器.测试了传感器对0～4％浓度范围氢气的敏感特性,结果显示,传感器对0～4％氢气浓度具有良好的线性输出特性,并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性.
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| 关 键 词： | 薄膜 钯铬 氢气传感器 |
Study on Thin Films of Pd/Cr Alloys Hydrogen Sensor |
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| XIAO You-wen
,
JING Tao
,
XIE Gui-jiu
,
ZHANG Jian-guo
,
WANG Yu-ming
,
ZHANG Liang.Study on Thin Films of Pd/Cr Alloys Hydrogen Sensor[J].Instrument Technique and Sensor,2012(11). |
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| Authors: | XIAO You-wen JING Tao XIE Gui-jiu ZHANG Jian-guo WANG Yu-ming ZHANG Liang |
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