过渡金属氮化物防扩散阻挡薄膜研究期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

过渡金属氮化物防扩散阻挡薄膜研究

引用本文：	薛云龙,罗维昂.过渡金属氮化物防扩散阻挡薄膜研究[J].真空科学与技术,1993,13(3):195-203.

作者姓名：	薛云龙罗维昂

摘要：
关键词：	阻挡层氮化物过渡元素薄膜
本文献已被维普等数据库收录！