| OVPD技术在OLED蒸镀装置中的应用 |
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| 引用本文： | 姜翠宁,黄启耀.OVPD技术在OLED蒸镀装置中的应用[J].真空与低温,2007,13(3):142-144,150. |
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| 作者姓名： | 姜翠宁 黄启耀 |
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| 作者单位： | 深圳新南亚技术开发有限公司,广东,深圳,518029 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 将OVPD(有机气相沉积)技术应用于OLED(有机电致发光显示器件)蒸镀装置中,研制了一台实验设备,并通过实验验证了其可行性和可控性.该技术克服了常规点源蒸发所产生的有机材料利用率低、膜层均匀性差、不适合大基片镀膜等缺点,为OLED量产设备的研制奠定了基础.
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| 关 键 词： | 有机气相沉积 有机电致发光显示器件 蒸发 |
| 文章编号： | 1006-7086(2007)03-0142-03 |
| 修稿时间： | 2007年3月5日 |
THE APPLICATION OF OVPD EVAPORATION EQUIPMENT FOR OLED |
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| JIANG Cui-ning,HUANG Qi-yao.THE APPLICATION OF OVPD EVAPORATION EQUIPMENT FOR OLED[J].Vacuum and Cryogenics,2007,13(3):142-144,150. |
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| Authors: | JIANG Cui-ning HUANG Qi-yao |
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