| 集成电路芯片机器视觉检测技术研究 |
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| 引用本文： | 梁忠伟.集成电路芯片机器视觉检测技术研究[J].中国设备工程,2006(10):53-55. |
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| 作者姓名： | 梁忠伟 |
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| 作者单位： | 华南理工大学,广东,广州,510000 |
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| 摘 要： | 针对芯片制造后道工序的需求,拟开发基于精密图像光学检测的IC全自动分检机以提高IC芯片的合格率和降低检测时间,本项目设备的研制,对实现半导体生产专用设备的国产化,缩短与世界先进水平的差距有着重要的意义,研制的IC全自动分检机将会具有广阔的市场前景和较大的社会效益。
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| 关 键 词： | 芯片检测 机器视觉 图像处理 图像分析 |
| 文章编号： | 1671-0711(2006)10-0053-03 |
| 修稿时间： | 2006年5月30日 |
Research on the Mechanical Sight Testing Technology for Integrated Circuit Sheets |
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| LIANG Zhong-wei.Research on the Mechanical Sight Testing Technology for Integrated Circuit Sheets[J].China Plant Engineering,2006(10):53-55. |
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| Authors: | LIANG Zhong-wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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