| 飞秒激光加工过程中光学参数对加工的影响 |
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| 引用本文： | 于海娟,李港,陈檬,张丙元.飞秒激光加工过程中光学参数对加工的影响[J].激光技术,2005,29(3):304-307. |
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| 作者姓名： | 于海娟 李港 陈檬 张丙元 |
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| 作者单位： | 1.北京工业大学, 激光工程研究院, 北京, 100022; |
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| 基金项目： | 北京市自然科学基金重点资助项目(3021001) |
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| 摘 要： | 分析了国际上飞秒激光同材料相互作用的实验研究,介绍了飞秒激光加工过程中,各个光参数对加工质量和加工尺寸的影响,针对光参数在飞秒激光加工过程中产生的影响做出了分析。
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| 关 键 词： | 飞秒激光 微加工 光参数影响 烧蚀阈值 |
| 文章编号： | 1001-3806(2005)03-0304-04 |
| 收稿时间： | 2004/4/30 |
| 修稿时间： | 2004年4月30日 |
Effect of femtosecond laser parameters on micromachining process |
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| YU Hai-juan,LI Gang,CHEN Meng,ZHANG Bing-yuan.Effect of femtosecond laser parameters on micromachining process[J].Laser Technology,2005,29(3):304-307. |
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| Authors: | YU Hai-juan LI Gang CHEN Meng ZHANG Bing-yuan |
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| Affiliation: | YU Hai-juan~1,LI Gang~1,CHEN Meng~1,ZHANG Bing-yuan~ |
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| Abstract: | The research of material processing with femtosecond laser has been performed in many countries.The development of many kinds of material processing with femtosecond laser in the world is introduced and the optical parameters'effect on the micromahining process is analyzed. |
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| Keywords: | femtosecond laser micromaching optical parameters’ effect ablation threshold |
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