pH值对碱性抛光液速率稳定性的影响 |
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引用本文: | 曹哲,刘玉岭,王辰伟,李海龙,蔡婷.pH值对碱性抛光液速率稳定性的影响[J].微纳电子技术,2013(9):599-602. |
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作者姓名: | 曹哲 刘玉岭 王辰伟 李海龙 蔡婷 |
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作者单位: | 河北工业大学微电子研究所 |
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基金项目: | 国家中长期发展规划重大科技专项资助项目(2009ZX02308) |
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摘 要: | 通过分析pH值对碱性抛光液抛光速率稳定性的影响,得出了碱性抛光液抛光速率相对稳定的pH值区间,并与酸性抛光液进行了对比,在酸性环境中至少稳定24 h,pH≤4时甚至可稳定6天。在碱性环境中pH为8时稳定性效果较好。研究得出了不同体积分数的螯合剂对碱性抛光液速率稳定性的影响,河北工业大学微电子所研制的螯合剂为多羟多胺有机碱,具有调节pH的作用。随螯合剂的体积分数逐渐增加,碱性抛光液抛光速率的稳定性逐渐变差,因此在研究碱性抛光液配比时应注意螯合剂的体积分数,以提高稳定性。观察和分析了碱性抛光液在全pH值范围内的速率稳定性变化,并将碱性抛光液的pH值调至7以下,在不产生凝胶的前提下观察其速率的稳定性。
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关 键 词: | pH值 碱性抛光液 稳定性 速率 螯合剂 |
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