| 用于相变存储器的W亚微米管加热电极性能 |
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| 引用本文： | 冯高明,刘波,吴良才,宋志棠,封松林,陈宝明.用于相变存储器的W亚微米管加热电极性能[J].半导体学报,2007,28(7):1134-1138. |
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| 作者姓名： | 冯高明 刘波 吴良才 宋志棠 封松林 陈宝明 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 纳米技术实验室，上海 200050;中国科学院研究生院，北京 100049;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 纳米技术实验室，上海 200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 纳米技术实验室，上海 200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 纳米技术实验室，上海 200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 纳米技术实验室，上海 200050;美国硅存储技术公司，加州 94086 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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中国科学院基金
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上海市科委资助项目 |
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| 摘 要： | 为了降低C-RAM器件的操作电流,利用0.18μm标准CMOS工艺线制备出外径为260nm的W亚微米管加热电极,并对其进行了电学性能的表征.使用W亚微米管加热电极制备出C-RAM器件,并通过疲劳特性测试分析了器件失效的原因.结果表明,W亚微米管具有良好的电学稳定性和疲劳特性,为降低C-RAM器件的操作电流提供了一种非常有效的途径.
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| 关 键 词： | 相变存储器 W亚微米管加热电极 电学性能 疲劳特性 相变存储器 微米管 加热 电极性能 Memory Phase Change Used Electrode Heater 电学稳定性 结果 器件失效 测试分析 疲劳特性 电极制备 使用 表征 电学性能 热电极 外径 |
| 文章编号： | 0253-4177（2007）07-1134-05 |
| 修稿时间： | 2/8/2007 3:05:55 PM |
Properties of W Sub-Microtube Heater Electrode Used for PhaseChange Memory |
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| Feng Gaoming,Liu Bo,Wu Liangcai,Song Zhitang,Feng Songlin and Chen Bomy.Properties of W Sub-Microtube Heater Electrode Used for PhaseChange Memory[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(7):1134-1138. |
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| Authors: | Feng Gaoming Liu Bo Wu Liangcai Song Zhitang Feng Songlin and Chen Bomy |
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| Affiliation: | Laboratory of Nanotechnology,Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200050,China;Graduate University,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China;Laboratory of Nanotechnology,Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200050,China;Laboratory of Nanotechnology,Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200050,China;Laboratory of Nanotechnology,Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200050,China;Laboratory of Nanotechnology,Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200050,China;Silicon Storage Technology Inc.,Sunnyvale,CA 94086,USA |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | phase change memory W sub-micron tube electrical performance fatigue behaviour |
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