掺杂ＳＢ２Ｏ３／Ａu对ＭoS2 溅射膜抗氧化性能的影响

利用Ｘ射线光电子谱仪（ＸＰＳ）对ＭoS2溅射膜掺杂Ｓb2O3/Au的抗氧化性能进行了研究。结果表明，Ｓb2O3/Au使得ＭoS2溅射膜的结构9变得更为致密，同时还改变了ＭoSx的化学计量配比，增强了ＭoS2溅射膜的抗氧化性能，通过掺杂的ＭoS2溅射膜的初始氧化以及在潮湿环境中的氧化只发生在膜表面的2~3个分子层，使得内层被保护得相当好，掺杂是解决MoS2溅射膜气氧化问题的一种行之有效的方法。