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| 硅基GaAs／GaAlAs平面光波导的研究 | |
| 引用本文： | 赵策洲,刘恩科.硅基GaAs／GaAlAs平面光波导的研究[J].红外与毫米波学报,1996,15(3):221-223. |
| 作者姓名： | 赵策洲 刘恩科 |
| 作者单位： | 西安电子科技大学微电子所，西安交通大学电子工程系 |
| 摘 要： | 分析了金属有机化合物化学气相淀积（ＭＯＣＶＤ）ＧａＡｓ／ＧａＡｓＡｌ／ＧａＡｓ／Ｓｉ材料结构的性能，用ＭＯＣＶＤ法地硅衬底上生长了ＧａＡｓ／ＧａＡｓＡｌ／ＧａＡｓ材料，并用这种材料制备了平面光波导样品，测定了１．３μｍ，单模激光的传输损耗小于０．６５ｄＢ／ｃｍ。 |
| 关 键 词： | GaAsAl MOCVD 光波导 砷化镓 |
INVESTIGATION OF Si BASED GaAs/GaAlAs PLANAR OPTICAL WAVEGUIDE |
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| Zhao Cezhou,Zhu Zhuoyun,Li Yaojing.INVESTIGATION OF Si BASED GaAs/GaAlAs PLANAR OPTICAL WAVEGUIDE[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,1996,15(3):221-223. | |
| Authors: | Zhao Cezhou Zhu Zhuoyun Li Yaojing |
| Abstract: | |
| Keywords: | GaAs/GaAlAs/GaAs/Si structure MOCVD optical waveguide |
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