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马赫-曾德干涉型波分复用器的容差分析
引用本文:夏君磊,郜定山,安俊明,李健,吴远大,胡雄伟.马赫-曾德干涉型波分复用器的容差分析[J].光电子.激光,2004,15(6):645-648.
作者姓名:夏君磊  郜定山  安俊明  李健  吴远大  胡雄伟
作者单位:中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心,北京,100083;中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心,北京,100083;中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心,北京,100083;中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心,北京,100083;中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心,北京,100083;中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心,北京,100083
基金项目:国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA312261),国家自然科学基金资助项目(69889701),国家重点基础研究发展规划资助项目(20000366202)
摘    要:通过耦合模理论分析了马赫-曾德干涉(MZI)型波分复用器各结构参数工艺误差对器件串扰的影响,比较了各结构参数的工艺容差性。结果表明,如果串扰要求在-30 dB以下,则波导臂长差的容差性为1%,耦合长度的容差性为2%,波导宽度的容差性较好;容差达到0.6μm时,串扰仍然在-58dB;波导间距对工艺精度要求最高,要求误差小于0.03μm。

关 键 词:马赫-曾德干涉仪(MZI)  波分复用器  容差  串扰
文章编号:1005-0086(2004)06-0645-04

Tolerance Analyses of the Mach-Zehnder Interferometric Demutiplexer
XIA Jun-lei,GAO Ding-shan,AN Jun-ming,LI Jian,WU Yuan-d,HU Xiong-wei.Tolerance Analyses of the Mach-Zehnder Interferometric Demutiplexer[J].Journal of Optoelectronics·laser,2004,15(6):645-648.
Authors:XIA Jun-lei  GAO Ding-shan  AN Jun-ming  LI Jian  WU Yuan-d  HU Xiong-wei
Abstract:
Keywords:Mach-Zehnder interferometer(MZI)  demutiplexer  tolerance  crosstalk
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