| 超高真空扩散泵油极限真空测试条件的探讨 |
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| 引用本文： | 王永桂.超高真空扩散泵油极限真空测试条件的探讨[J].有机硅材料,2004,18(2):17-20. |
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| 作者姓名： | 王永桂 |
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| 作者单位： | 中昊晨光化工研究院,四川富顺,643201 |
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| 摘 要： | 探讨了274、275超高真空扩散泵油极限真空测试过程中，除气、循环冷却水温度、冷阱及环境温度等因素对测试结果的影响。结果表明，冷阱对测试结果影响不大，除气、循环冷却水温度及环境温度对测试结果影响极大，必须彻底除气同时将温度控制在10～25℃，才能准确测试出极限真空度。
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| 关 键 词： | 超高真空扩散泵油 极限真空 测试条件 硅油 真空测试系统 电离真空计 玻璃扩散真空泵 |
| 文章编号： | 1009-4369(2004)02-0017-04 |
| 修稿时间： | 2003年4月24日 |
Discussion on condition testing the degree of ultimate vacuum of ultrahigh vacuum diffuse pump oil |
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| WANG Yong,gui.Discussion on condition testing the degree of ultimate vacuum of ultrahigh vacuum diffuse pump oil[J].Silicone Material,2004,18(2):17-20. |
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| Authors: | WANG Yong gui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ultrahigh vacuum diffuse pump oil ultimate vacuum silicone fluid |
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