| 飞秒激光对半导体材料及器件烧蚀效应研究进展 |
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| 引用本文： | 辛建婷,刘国栋.飞秒激光对半导体材料及器件烧蚀效应研究进展[J].激光与光电子学进展,2009,46(10). |
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| 作者姓名： | 辛建婷 刘国栋 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院,流体物理研究所,四川,绵阳,621900 |
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| 摘 要： | 简要评述了国内外关于飞秒激光烧蚀半导体材料的理论研究、数值模拟和实验研究进展,报道了飞秒激光对几类光电探测器件损伤阈值的研究结果.
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| 关 键 词： | 飞秒激光 半导体材料 烧蚀 |
Research Progress of Semiconductor and Electrophotonic Detector Ablation by Femtosecond Laser |
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| Xin Jianting,Liu Guodong.Research Progress of Semiconductor and Electrophotonic Detector Ablation by Femtosecond Laser[J].Laser & Optoelectronics Progress,2009,46(10). |
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| Authors: | Xin Jianting Liu Guodong |
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