| CVD金刚石膜/硅为基板的微条气体室性能研究 |
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| 引用本文： | 张明龙,夏义本,王林军,顾蓓蓓,杨莹,汪琳.CVD金刚石膜/硅为基板的微条气体室性能研究[J].功能材料与器件学报,2005,11(2):187-191. |
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| 作者姓名： | 张明龙 夏义本 王林军 顾蓓蓓 杨莹 汪琳 |
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| 作者单位： | 上海大学材料科学与工程学院,上海,200072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(No.60072033) |
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| 摘 要： | 提出了一种新型的CVD金刚石膜/硅(ρ～1010Ω·cm)为基板的微条气体室,阳极宽度7μm阴极100μm,间距200μm。室温下,充以1.01×10-5PaAr+CH4混合气体时,采用5.9keV55FeX射线测量了探测器在不同高压和气体比例时的脉冲高度分布,详细讨论了高压和气体比例对能量分辨率的影响,结果表明该探测器具有较高的信噪比和能量分辨率。在Ar+10%CH4混合气体、-1100V漂移电压和-650V阴极电压工作条件下,微条气体室能量分辨率可达12.2%。
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| 关 键 词： | 微条气体室 气体探测器 CVD金刚石膜 X射线 |
| 文章编号： | 1007-4252(2005)02-0187-05 |
| 修稿时间： | 2004年7月12日 |
Performance of micro - strip gas chamber fabricated on the CVD diamond film/Si composite substrate |
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| ZHANG Ming-long,XIA Yi-ben,WANG Lin-jun,GU Bei-Bei,YANG Ying,WANG Lin.Performance of micro - strip gas chamber fabricated on the CVD diamond film/Si composite substrate[J].Journal of Functional Materials and Devices,2005,11(2):187-191. |
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| Authors: | ZHANG Ming-long XIA Yi-ben WANG Lin-jun GU Bei-Bei YANG Ying WANG Lin |
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| Keywords: | micro-strip gas chamber gas detector CVD diamond film X-rays |
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