| 感性可调MEMS电容性膜开关的微波等效模型分析 |
| |
| 引用本文： | 李越飞,杨雪霞,张文俊.感性可调MEMS电容性膜开关的微波等效模型分析[J].上海大学学报(自然科学版),2006,12(2):111-115. |
| |
| 作者姓名： | 李越飞 杨雪霞 张文俊 |
| |
| 作者单位： | 上海大学,通信与信息工程学院,上海,200072 |
| |
| 基金项目： | 上海市应用材料研究与发展基金 |
| |
| 摘 要： | 通过对感性可调MEMS电容性膜开关等效电路模型的电磁特性分析，建立了开关的“关”态谐振频率选择模型和“开”态阻抗匹配模型.从微波等效电路的角度提出高性能感性可调MEMS电容性膜开关的设计方法，同时给出了基于这两种模型设计X波段MEMS开关的“关”态隔离度与“开”态反射损耗的电路仿真结果，与高频电磁场全波仿真结果吻合较好，具有较高的实际应用价值.
|
| 关 键 词： | 微机械电子系统 电容性膜开关 共面波导 电磁特性 |
| 文章编号： | 1007-2861（2006）02-0111-05 |
| 收稿时间： | 2005-05-12 |
| 修稿时间： | 2005年5月12日 |
Microwave Equivalent Model of Tuned MEMS Shunt-Capacitive Switches |
| |
| LI Yue-fei,YANG Xue-xia,ZHANG Wen-jun.Microwave Equivalent Model of Tuned MEMS Shunt-Capacitive Switches[J].Journal of Shanghai University(Natural Science),2006,12(2):111-115. |
| |
| Authors: | LI Yue-fei YANG Xue-xia ZHANG Wen-jun |
| |
| Affiliation: | School of Communication and Information Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China |
| |
| Abstract: | By analyzing electromagnetic characteristics of a microwave equivalent circuit model,the off-state resonance choice formulation and on-state impedance matching formulation of tuned MEMS shunt-capacitive switches is presented.A design method of tuned MEMS shunt-capacitive switches is developed based on an analysis of the microwave equivalent circuit.Numerical results of the circuit simulation of a MEMS switch for the X band based on these design models are described.Electromagnetic characteristics of the switch are confirmed with a high frequency full-wave simulation software.This is useful in designing high-performance RF MEMS switches. |
| |
| Keywords: | MEMS shunt-capacitive switch CPW electromagnetic-characteristic |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《上海大学学报(自然科学版)》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《上海大学学报(自然科学版)》下载全文 |
