离子氮化质量问题的探讨(二)

四、关于工艺参数的测量和控制为了获得工艺重见性,提供正确可靠的工艺参数尤为重要。离子氮化的工艺参数主要包括处理温度、气体成分和流量、气压、处理时间、辉光电压和电流密度等。时间、电压、电流等参数的测量和控制比较简单,但是,目前在温度、气体流量、气压等工艺参数的测量或控制方面仍存在一定问题。下面就这方面的一些问题进行一些讨论。1.温度的测量离子氮化零件的温度是由离子轰击零件表面,将动能转换成热能而得到的。实验测定离子氮化的温度场表明:离子氮化条件下气体异常辉光放电等离子区的温度场是不均匀的,在氮化温度范围内,距零件表面0.5mm处辉光区的温度比零件表面的实际温度低