小型四极质谱计的设计方案探讨 |
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引用本文: | 毛福明.小型四极质谱计的设计方案探讨[J].电子器件,1995,18(2):76-80. |
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作者姓名: | 毛福明 |
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作者单位: | 东南大学电子工程系 |
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摘 要: | 为推动真空四极质谱计的应用,现提出一种用户实用、性能稳定可靠、价低的真空质谱计设计方案,1)按超高真空和高真空要求分开设计质谱管;2)采用公差一致性组装四极杆;3)采用粗、长四极杆;4)充分利用离化室的高压强工作能力;5)内藏式离子流放大器;6)增强仪器电路的实用功能。最后举例了一台溅射镀膜机监控质谱计,无须配置质谱计减压真空系统和微机等辅助设计,就能进行正常气氛监控,其总投资只需常规设计的三分之
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关 键 词: | 四极质谱计 设计 |
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