| 新型高量程冲击硅微机械加速度传感器的设计与制造 |
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| 引用本文： | 董健,计时鸣,张立彬.新型高量程冲击硅微机械加速度传感器的设计与制造[J].浙江工业大学学报,2009,37(1). |
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| 作者姓名： | 董健 计时鸣 张立彬 |
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| 作者单位： | 浙江工业大学,机械制造及自动化教育部重点实验室,浙江,杭州,310032 |
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| 基金项目： | 浙江省自然科学基金，浙江省重中之重学科开放基金 |
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| 摘 要： | 给出了一种测量高量程冲击加速度的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法.加速度传感器采用整体式悬臂梁结构,在硅片平面内设计了两个分布方向相反结构相同的悬臂梁,每个悬臂梁顶端通过硼扩散形成两个压敏电阻,四个压敏电阻构成惠斯通全桥连接.悬臂梁两侧面和过载保护曲面采用DRIE技术加工,过载保护曲面设计成近似于冲击加速度传感器承受最大加速度时悬臂梁弯曲曲面的形状,一方面提高了悬臂梁过载保护能力,另一方面可以调节加速度传感器的工作阻尼至临界阻尼,有效提高了加速度传感器的工作频率带宽.分析和测试结果表明,加速度传感器的灵敏度达到3.024μV/g,工作频率带宽达到0～81 kHZ,量程达到0～50 000 g.加速度传感器的性能能够满足测量冲击过程的要求.
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| 关 键 词： | 冲击 硅微机械加速度传感器 DRIE技术 过载保护曲面 工作频率带宽 |
Design and fabrication of novel high-impact silicon micro-mechanical accelerometer |
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| DONG Jian,JI Shi-ming,ZHANG Li-bin.Design and fabrication of novel high-impact silicon micro-mechanical accelerometer[J].Journal of Zhejiang University of Technology,2009,37(1). |
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| Authors: | DONG Jian JI Shi-ming ZHANG Li-bin |
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