| 微型红外气体分析器 |
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| 引用本文： | 张永怀,白鹏,刘君华.微型红外气体分析器[J].现代科学仪器,2002(3):24-26,47. |
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| 作者姓名： | 张永怀 白鹏 刘君华 |
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| 作者单位： | 西安交通大学电气工程学院,西安,710049 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目No.50 0 770 1 6资助 |
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| 摘 要： | 着重阐述了日本，法国，英国，瑞士等国家不同研究机构MEMS红外气体分析器的最新研究动态，以及原理和结构特点。这些微型红外气体分析器因其体积小，成本低，在分光类型，调制方式和检测手段等方面各具特色，近年来得到了迅速发展。其研究思路对于国内研究气体分析仪器的同地也具有一定的借鉴作用。
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| 关 键 词： | MEMS 红外气体分析器 光学 |
Subminiature Infrared Gas Analyzer |
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| Zhang Yonghuai,Bai Peng,Liu Junhua.Subminiature Infrared Gas Analyzer[J].Modern Scientific Instruments,2002(3):24-26,47. |
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| Authors: | Zhang Yonghuai Bai Peng Liu Junhua |
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| Abstract: | New research trends, principles and structure characteristics of MEMS-based infrared gas analyzers in Japan, French, England and Switzerland were described in detail. The analyzers have been widely used for their small volume, low costs and special features in dispersing, modulating and measuring methods of infrared. Their research ideas may have some reference values for domestic researchers. |
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| Keywords: | MEMS infrared gas analyzer optics |
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