| 扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析 |
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| 引用本文： | 孙东明,董玮,玄伟,刘彩霞,王国东,陈维友.扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析[J].微纳电子技术,2006,43(5):251-253. |
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| 作者姓名： | 孙东明 董玮 玄伟 刘彩霞 王国东 陈维友 |
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| 作者单位： | 1. 集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,长春,130012
2. 集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,长春,130012;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130021 |
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| 基金项目： | 教育部跨世纪优秀人才培养计划;吉林省科技发展计划;国家科技攻关项目;吉林大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pulli-n角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04%,且与扭臂的结构参数无关。
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| 关 键 词： | 微驱动器 静电驱动 扭臂 pulli-n现象 |
| 文章编号： | 1671-4776(2006)05-0251-03 |
| 收稿时间： | 2005-09-08 |
| 修稿时间： | 2005年9月8日 |
Pull-in Phenomena Analysis of Electrostatic Micro-Actuator with Torsion Heam |
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| SUN Dong-ming,DONG Wei,XUAN Wei,LIU Cai-xia,WANG Guo-dong,CHEN Wei-you.Pull-in Phenomena Analysis of Electrostatic Micro-Actuator with Torsion Heam[J].Micronanoelectronic Technology,2006,43(5):251-253. |
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| Authors: | SUN Dong-ming DONG Wei XUAN Wei LIU Cai-xia WANG Guo-dong CHEN Wei-you |
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| Affiliation: | 1.State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, Jilin University, Changchun 130012, China; 2.Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130021, China |
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| Abstract: | A model of a micro-actuator with torsion beam, and the analytical formulae are derived for analysis of pull-in phenomena. The effect of the structural parameters on pull-in phenomena is discussed, and analytical results are given for the certain device. The ratio of pull-in angle to the maximum travel angle is 44.04%, and which is not correlative with the parameters of torsion beam. |
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| Keywords: | micro-actuator electrostatically actuated torsion beam pull-in phenomena |
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