| 压电扫描器系统中迟滞补偿器的设计 |
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| 引用本文： | 吴鑫,陈四海,熊小刚,石本义,陈巍.压电扫描器系统中迟滞补偿器的设计[J].红外与激光工程,2011,40(8):1503-1507. |
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| 作者姓名： | 吴鑫 陈四海 熊小刚 石本义 陈巍 |
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| 作者单位： | 武汉光电国家实验室,湖北武汉430074;华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北武汉430074 |
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| 基金项目： | 教育部新世纪优秀人才支持计划 |
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| 摘 要： | 在自适应光学、空间光通信、激光加工等领域,激光扫描器是其中的一项关键器件.基于压电陶瓷叠堆的传统激光扫描器很难实现较好的线性扫描,为此设计了一种基于迟滞补偿器的压电扫描器.介绍了基于迟滞补偿器的压电扫描器系统组成,分析了压电扫描器中迟滞回线的修正原理及方法.利用经过迟滞补偿后的驱动信号驱动激光扫描器进行扫描,实验结果表...
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| 关 键 词： | 迟滞补偿器 压电扫描器 迟滞特性 非线性度 |
Hysteresis compensator controller design of piezoelectric scanner system |
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| Wu Xin,Chen Sihai,Xiong Xiaogang,Shi Benyi,Chen Wei.Hysteresis compensator controller design of piezoelectric scanner system[J].Infrared and Laser Engineering,2011,40(8):1503-1507. |
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| Authors: | Wu Xin Chen Sihai Xiong Xiaogang Shi Benyi Chen Wei |
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