| 正电压边缘驱动的双压电片变形镜研制 |
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| 引用本文： | 彭泰然,李文来,娄军强,崔玉国,马剑强.正电压边缘驱动的双压电片变形镜研制[J].光子学报,2019,48(8). |
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| 作者姓名： | 彭泰然 李文来 娄军强 崔玉国 马剑强 |
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| 作者单位： | 宁波大学 机械工程与力学学院,浙江 宁波,315211;宁波大学 机械工程与力学学院,浙江 宁波,315211;宁波大学 机械工程与力学学院,浙江 宁波,315211;宁波大学 机械工程与力学学院,浙江 宁波,315211;宁波大学 机械工程与力学学院,浙江 宁波,315211 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;浙江省公益技术研究 |
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| 摘 要： | 为提高变形镜的热稳定性,提出一种用正电压边缘驱动的双压电片变形镜,通过环形电极产生整体离焦偏置,分立电极校正波前像差,只用正向电压即可实现镜面双向变形,且此变形镜结构对称受热应力影响小.制备变形镜样机并进行测试,测试结果表明:初始镜面展平后残余误差小于λ/30(λ=1 064nm);精确重构了典型低阶Zernike多项式像差,像散、离焦、三叶草和彗差像差的重构幅值分别达到11.1μm、9.7μm、5.7μm和4.2μm,归一化残余误差分别为1.0%、1.0%、3.3%、6.0%;此外,实验生成了新型无衍射艾里光束,并显示出优异的重构性能.
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| 关 键 词： | 自适应光学 双压电片变形镜 正电压 热变形 艾里光束 |
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