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MOVPE生长Al_(0.35)Ga_(0.65)As/GaAs量子阱结构的光致发光
引用本文:
董建荣,陆大成,汪度,王晓晖,刘祥林,王占国.MOVPE生长Al_(0.35)Ga_(0.65)As/GaAs量子阱结构的光致发光[J].半导体学报,1996,17(4):252-256.
作者姓名:
董建荣
陆大成
汪度
王晓晖
刘祥林
王占国
作者单位:
中国科学院半导体研究所
摘 要:
用常压MOVPE系统,采用AsH3、国产TMGa和TMAI生长了AI0.35Ga0.65As/GaAs多量子阱结构.在11K下,宽度为10A的阱PL半峰竞最窄为12meV,表明量子阱结构具有陡峭的界面.光致发光(PL)测试结果显示,较低的生长速率和适当的生长中断时间有利于改善PL半峰宽.
关 键 词:
MOVPE法
AlGaAs
GaAs
量子阱结构
光致发光
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