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SiO2／Si表面电子谱的因子分析法研究

引用本文：	李敏,张勇.SiO2／Si表面电子谱的因子分析法研究[J].真空科学与技术,1994,14(6):383-389.

作者姓名：	李敏张勇

摘要：
关键词：	因子分析法表面电子谱氧化硅硅界面
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