| 一种双稳态电磁型射频MEMS开关的设计与测试 |
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| 引用本文： | 李慧娟,杨子健,孙建,郝长岭,禹继芳.一种双稳态电磁型射频MEMS开关的设计与测试[J].半导体技术,2015,40(2):117-122. |
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| 作者姓名： | 李慧娟 杨子健 孙建 郝长岭 禹继芳 |
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| 作者单位： | 北京航天微机电技术研究所,北京,100094;北京航天微机电技术研究所,北京,100094;北京航天微机电技术研究所,北京,100094;北京航天微机电技术研究所,北京,100094;北京航天微机电技术研究所,北京,100094 |
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| 摘 要： | 设计了一种低电压驱动的双稳态电磁型射频MEMS开关.与驱动电压高这几十伏的静电型射频MEMS开关相比,其驱动电压可低至几伏,因此应用时无需增加电荷泵等升压电路.开关可在磁场驱动下实现双稳态切换,稳态时无直流功率消耗.分析了工作磁场的分布特点,进行了结构设计仿真;并使用HFSS软件和粒子群算法进行了射频参数仿真、结构参数优化及主要结构参数显著性研究,得出了影响开关射频传输性能的主要结构参数;采用表面牺牲层工艺制作了原理样机并进行了射频性能参数的测试.结果表明,开关样机在DC～3 GHz工作频率区间内,插入损耗小于0.25 dB,隔离度大于40 dB.
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| 关 键 词： | 微电子机械系统(MEMS) 射频开关 插入损耗 隔离度 测试 |
Design and Test of a Bistable Electromagnetic RF MEMS Switch |
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| Li Huijuan;Yang Zijian;Sun Jian;Hao Changling;Yu Jifang.Design and Test of a Bistable Electromagnetic RF MEMS Switch[J].Semiconductor Technology,2015,40(2):117-122. |
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| Authors: | Li Huijuan;Yang Zijian;Sun Jian;Hao Changling;Yu Jifang |
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| Affiliation: | Li Huijuan;Yang Zijian;Sun Jian;Hao Changling;Yu Jifang;Beijing Aerospace Micromechanical Electronics Technology Institute; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-electromechanical system (MEMS) radio frequency switch insertion loss isolation test |
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