真空技术中的清洁处理 一

一、概述真空中的清洁处理一般指的是真空装置在装成整机前或在使用过程中进行清洁处理,去掉污染物,从而消除或减少污染物对零件的污染问题。清洁处理是否符合要求,将直接影响到系统的极限真空以及电真空器件的寿命和可靠性。真空装置由许多不同的零件组成,它们都是经过各种机械加工完成的。如车、铣、刨、磨、镗、焊接等。这样使零件表面不可避免的会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发,影响真空设备的极限真空。此外,污