| 基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器 |
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| 引用本文： | 武亮,彭东林,鲁进,汤其富,陈锡侯.基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器[J].仪器仪表学报,2017,38(1):83-90. |
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| 作者姓名： | 武亮 彭东林 鲁进 汤其富 陈锡侯 |
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| 作者单位： | 重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心重庆400054,重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心重庆400054,重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心重庆400054,重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心重庆400054,重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心重庆400054 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（51405049，51505052）、重庆市科技研发基地能力提升计划（cstc2014pt-sy40002）项目资助 |
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| 摘 要： | 针对现有磁场式直线时栅位移传感器行波磁场产生过程中,齿槽的存在影响行波磁场的匀速性,提出基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器。无齿槽的结构形式提高了行波磁场的匀速性,可实现大极距下的高精度测量。传感器将施加正交信号的两相励磁线圈相间排列形成平面线圈线阵,产生的行波磁场通过磁场拾取线圈感应出电行波信号,处理后得到位移量。通过电磁场分析软件对传感器进行建模仿真,根据仿真结果得到测量误差;通过理论分析对测量误差进行分析溯源,并根据分析结果对传感器结构进行优化。基于分析和优化结果研制出传感器样机,并进行了精度实验。实验表明,传感器在240 mm内测量精度为±1μm,实现了精密测量。
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| 关 键 词： | 直线位移传感器 齿槽 平面线圈 时栅位移传感器 误差分析 |
Linear time grating displacement sensor based on linear array of planar coils |
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| Wu Liang,Peng Donglin,Lu Jin,Tang Qifu and Chen Xihou.Linear time grating displacement sensor based on linear array of planar coils[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2017,38(1):83-90. |
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| Authors: | Wu Liang Peng Donglin Lu Jin Tang Qifu and Chen Xihou |
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| Affiliation: | Engineering Research Center of Mechanical Testing Technology and Equipment, Ministry of Education, Chongqing University of Technology, Chongqing 400054, China,Engineering Research Center of Mechanical Testing Technology and Equipment, Ministry of Education, Chongqing University of Technology, Chongqing 400054, China,Engineering Research Center of Mechanical Testing Technology and Equipment, Ministry of Education, Chongqing University of Technology, Chongqing 400054, China,Engineering Research Center of Mechanical Testing Technology and Equipment, Ministry of Education, Chongqing University of Technology, Chongqing 400054, China and Engineering Research Center of Mechanical Testing Technology and Equipment, Ministry of Education, Chongqing University of Technology, Chongqing 400054, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | linear displacement sensor tooth and slot planar coil time grating displacement sensor error analysis |
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