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激光干涉比长仪的新型瞄准方法——提高线纹尺的测量精度
引用本文:葛文铮,张云力.激光干涉比长仪的新型瞄准方法——提高线纹尺的测量精度[J].现代计量测试,1999,7(4):19-21,18.
作者姓名:葛文铮  张云力
作者单位:中国计量科学研究院
摘    要:介绍一种在激光干涉仪上对线纹尺进行高精度瞄准的新方法--单狭缝多点采集系统,详细描述了其设计方案和工作原理,并介绍了确定刻线定中心位置的计算方法、消除随机噪声的数字滤波法及对钟形曲线进行直线拟合的合适区段。实测数据表明,这种新型瞄准方法的测量不确定度有很大的提高。

关 键 词:线纹尺  长度计量  激光干涉比长仪  测量精度

New Aiming Method in Laser Interferometer Improving the Measurement Accuracy of Line Scale
Ge Wenzheng\ Zhang Yunli\ Yang Ziben\ Wang Debao.New Aiming Method in Laser Interferometer Improving the Measurement Accuracy of Line Scale[J].Modern Measurement and Test,1999,7(4):19-21,18.
Authors:Ge Wenzheng\ Zhang Yunli\ Yang Ziben\ Wang Debao
Abstract:A new aiming method in laser interferometer-single slit multisampling system for improving the accuracy of line scale is introduced. The design and principles are described in detail, and the calculating method for determination of the central position is presented.
Keywords:laser interferometer  line scale  length measurement
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