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集成硅压阻传感器的发展及运用
引用本文:吕宏让.集成硅压阻传感器的发展及运用[J].化工自动化及仪表,1993,20(5):40-41.
作者姓名:吕宏让
作者单位:宝鸡有机化工厂动力科 宝鸡市
摘    要:介绍了集成硅压阻传感器的特点、应用及发展。

关 键 词:敏感芯片  集成硅  压阻传感器
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