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| 用硅烷和甲烷辉光放电法制备的a-Si_xC_(1-x):H薄膜及光电性能的研究 | |
| 引用本文： | 陈光华,张仿清,徐希翔,杜宁,王会生.用硅烷和甲烷辉光放电法制备的a-Si_xC_(1-x):H薄膜及光电性能的研究[J].太阳能学报,1982(4). |
| 作者姓名： | 陈光华 张仿清 徐希翔 杜宁 王会生 |
| 作者单位： | 兰州大学物理系 (陈光华，张仿清，徐希翔，杜宁)，兰州大学物理系(王会生) |
| 摘 要： | 本文主要介绍了应用SiH_4 CH_4的辉光放电法制备光电性能优良的a-si_xC_(1-x):H薄膜的最佳工艺条件、红外吸收谱、光隙E_(opt)同x的关系以及ESCA测量结果。我们还得到了光电导率与暗电导率比σ_P/σ_D与分压比G之间的经验公式σ_P/σ_D=C_0(1.3-G)~(-8)。文中还对这些实验结果进行了初步讨论。 |
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