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| 高危制程气体输送系统安装调试技术探讨 | |
| 引用本文： | 曾宪友,林吉勇,何耀琳.高危制程气体输送系统安装调试技术探讨[J].安装,2016(3):40-42. |
| 作者姓名： | 曾宪友 林吉勇 何耀琳 |
| 作者单位： | 成都市工业设备安装公司 成都610071;成都市工业设备安装公司 成都610071;成都市工业设备安装公司 成都610071 |
| 摘 要： | 本文主要对高危制程气体输送系统安装调试进行探讨,提出了气瓶固定支架,管道与支架间隔离处理,规范焊接充氩保护,KF真空卡钳式法兰连接等安装调试施工方法,保证半导体制程气体输送系统高洁净度、高密闭性等要求。 |
| 关 键 词： | 制程气体 支架 管道 安装 调试 |
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