| 基于Sigmund理论的溅射产额计算及分析 |
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| 引用本文： | 陈明,王君,陈长琦,刘珍.基于Sigmund理论的溅射产额计算及分析[J].真空,2007,44(2):44-47. |
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| 作者姓名： | 陈明 王君 陈长琦 刘珍 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学机械与汽车工程学院,安徽,合肥,230009 |
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| 摘 要： | 溅射产额是表征溅射效应的重要参数。Sigmund的线性级联碰撞理论在溅射产额计算中获得了广泛的应用和发展。本文对Sigmund理论进行简单介绍，并对基于Sigmund理论的各种经验公式进行分析。在此基础上，对不同条件下的溅射产额进行了计算，通过计算结果，对各种公式的使用范围进行了讨论。
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| 关 键 词： | Sigmund理论 溅射产额 入射离子能量 |
| 文章编号： | 1002-0322（2007）02-0044-04 |
| 修稿时间： | 2006-09-21 |
Calculation and analysis based on Sigmund's theory for sputtering yield |
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| CHEN Ming,WANG Jun,CHEN Chang-qi,LIU Zhen.Calculation and analysis based on Sigmund''''s theory for sputtering yield[J].Vacuum,2007,44(2):44-47. |
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| Authors: | CHEN Ming WANG Jun CHEN Chang-qi LIU Zhen |
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| Affiliation: | School of Mechanical and Automobile Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China |
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